哈爾濱科友半導(dǎo)體公司通過(guò)自主設(shè)計(jì)制造的電阻長(zhǎng)晶爐產(chǎn)出直徑超過(guò)8寸的碳化硅單晶
709摘要: 在科友第三代半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)緊張投產(chǎn)過(guò)程中,科友半導(dǎo)體試驗(yàn)線再傳捷報(bào),科友半導(dǎo)體通過(guò)自主設(shè)計(jì)制造的電阻長(zhǎng)晶爐產(chǎn)出直徑超過(guò)8吋的碳化硅單晶,晶體表面光滑無(wú)缺陷,最大直徑超過(guò)204mm。這是科友半導(dǎo)...
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